SETO 1.60 fotokróm lencse SHMC

1) Mi az a spinbevonat?

A spinbevonat egy olyan eljárás, amellyel egyenletes vékony filmréteget visznek fel sík felületekre.Általában kis mennyiségű bevonóanyagot visznek fel az alapfelület közepére, amely vagy alacsony sebességgel forog, vagy egyáltalán nem forog.Ezután az aljzatot 10 000 fordulat/perc sebességgel forgatják, hogy a bevonóanyagot centrifugális erővel szétterítsék.A centrifugáláshoz használt gépet centrifugálásnak, vagy egyszerűen fonónak nevezik.
A forgatást addig folytatjuk, amíg a folyadék leválik a hordozó széleiről, amíg el nem érjük a film kívánt vastagságát.Az alkalmazott oldószer általában illékony, és ezzel egyidejűleg elpárolog.Minél nagyobb a fonás szögsebessége, annál vékonyabb a film.A film vastagsága az oldat viszkozitásától és koncentrációjától, valamint az oldószertől is függ.[2]A spinbevonat úttörő elméleti elemzését Emslie és munkatársai végezték, és számos későbbi szerző kiterjesztette (köztük Wilson és mtsai [4], akik a spinbevonat terjedési sebességét tanulmányozták; és Danglad-Flores et al., [5], aki talált egy univerzális leírást a lerakódott filmvastagság előrejelzésére).
A spinbevonatot széles körben alkalmazzák funkcionális oxidrétegek mikrogyártásában üvegen vagy egykristályos szubsztrátumokon szol-gél prekurzorok felhasználásával, ahol nanoméretű vastagságú egyenletes vékony filmek készítésére használható.[6]Intenzíven használják a fotolitográfiában, körülbelül 1 mikrométer vastag fotoreziszt rétegek lerakására.A fotoreziszt jellemzően 20-80 fordulat/másodperc sebességgel forgatják 30-60 másodpercig.Széles körben használják polimerekből készült sík fotonikus szerkezetek előállítására is.
A vékony filmek centrifugálásának egyik előnye a filmvastagság egyenletessége.Az önterülésnek köszönhetően a vastagságok nem változnak 1%-nál nagyobb mértékben.A polimerekből és fotorezisztekből álló vastagabb filmek centrifugálása azonban viszonylag nagy peremgyöngyöket eredményezhet, amelyek planarizálásának fizikai korlátai vannak.